产品展示
有机发光二极管 溅射
OLED TFE在线系统
개요
- OEC系列是通过覆盖玻璃和有机材料涂覆的基体胶囊在OLED生产过程中使用的设备，可防止H2O和O2氧化。
특징
- 组成：八角形群集室（包括真空转移机器人），六角形手套箱
（包括ATM传输机器人），等离子处理机，吸气剂连接器，封口分配器，UV组装器和返回传送带
-使用气体净化器控制室内的H2O和O2
-双重生产模式：使用液化密封剂的UV固化模式和使用玻璃纤维密封剂的激光密封模式
-真空部分：干泵+增压泵
사양
- -电路板尺寸：730mm X 460mm -上架时间：3.5分钟-盖子材料：玻璃 -没有基材装载量：48pcs。 （24个X 2储料器）-工艺环境：H2O <1ppm，O2 <10ppm-封装精度：±7㎛以内 紫外线均匀度：±5％以内（基于基材面积）-玻璃转印方式：机械手和电磁辊