产品展示
溅镀 溅射
在线水平溅射机（SuVas-HD系列）
개요
- SuVas-HD系列用于通过在中型基板上溅射氧化物或金属材料的太阳能或建筑面板生产的电极层工艺。
특징
- 水平动态型
-在整个优化设计中最小化安装空间和设备重量
-使用非接触式传输系统将室内的颗粒最小化
-可以在一个处理周期中形成多层
-通过在阴极中移动磁体来最大化目标效率并改善薄膜质量
사양
- -适用基材尺寸：各种 -目标材料：金属和氧化物 电源：直流，脉冲直流，中频，射频-厚度均匀度：小于5％-加热温度：基板上小于250℃-温度均匀度：±15℃以内