产品展示
溅镀 溅射
垂直簇溅射机（SuVas-CV系列）
개요
- SuVas-CV系列用于LCD或OLED面板生产的电极层工艺，该工艺是通过在中等尺寸的基板上溅射氧化物或金属材料而实现的。
특징
- - 集群垂直型
- 在整个优化设计中最大程度地减少设备的占地面积和重量
- 使用非接触式传输系统将室内的颗粒最小化
- 可以在一个过程周期中形成多层
- 将磁铁移至阴极以最大化目标效率并改善薄膜质量
사양
- 适用基材尺寸：标准G6基材
- 间歇时间：50秒以内（基于两个阶段）/ 120秒以内（基于三个过程）
- 目标材料：金属（Ag，Al，Ti，Mo等），ITO
- 电源：直流，脉冲直流电源
- 厚度均匀度：小于5％
- 薄层电阻：±10％以内
- 加热温度：230℃（基于基板的高温），60℃（基于基板的低温）
- 温度均匀度：小于±5％