产品展示

溅镀 溅射

串联式垂直动态溅射仪(SuVas-VD系列)

개요

  • LSF系列是用于在大面积基板上真空沉积氧化物和金属材料的设备,用于制造彩色滤光片。

특징

  • -立式直列式
    -优化的设计减轻了设备的重量并最大程度地减少了占地面积
    -通过非接触式输送系统使室内的颗粒最小化
    -可能形成多层
    -通过移动阴极部件的磁体来改善薄膜质量和目标效率

사양

  • - 基板尺寸:8代玻璃或以上

    - 节拍时间:35秒以内(C / F动态类型)
    - 沉积材料:ITO,SIO,TIO,ZnO,CrOx,AZO,GZO,IGZO
    - 电源:直流,脉冲直流或中频
    - 厚度均匀度:±5%或以下(动态型)
    - 表面电阻:±12%以内加热温度:250°C(基于基板温度)
    - 加热温度均匀度:15℃以内