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其他 溅射

卷对卷溅射

개요

  • 卷对卷溅射机广泛用于沉积在柔性薄膜上。
    卷对卷溅射的应用是可变的。

특징

  • -松动单元
    收卷机
    -阴极系统
    主硒鼓单元
    -滚动单元
    控制系统
    处理/测量装置(可选)

사양

  • -胶卷宽度:〜1500mm 

    -真空度:Ultimate 2.0E-6Torr(12小时) 

    -目标材料:金属和氧化物 

    -功率:直流,脉冲直流,中频,射频功率厚度均匀度:±5%以内 

    -附着力:100%(测试ASTM D3359)