研发
研究内容
显示器领域研发（LCD/OLED)
- 大面积TFT镀膜
- CF溅镀机
- 薄膜Encapsulation
- 氧化物TFT溅镀机
- 氧化物TFT器件监测设备
- 半导体R&D
- 用于WLP(Wafer Level Package), PLP(Panel Level Package)溅镀机
- 能源R&D
- 同位素(Ni-63)电池
- 全固态二次电池
太阳能电池研发
- CIGS Solar Cell
- Back Electrode(Mo), Diffusion Barrier(SiO2), CIG Precursor, Window(ITO, AZO)用 Sputter
- CIGS 光吸收层的热处理用 NFS(Nozzle Free Se Shower) RTP
- 干式 Buffer((Zn(O,S), ZnS, Cd(Zn,S)) 镀膜用ALD
- Window(BZO) 镀膜用 MOCVD
- Crystalline-Si Solar Cell
- 保护层
其它R&D
- 分析
- 结构分析
- 热，流动分析
- 电磁场、等离子分析
- 半导体
- 蚀刻厚度提高技术
- 异物控制技术
- 其它产业用镀膜设备
- 高速、高效率镀膜设备
- Damage Free 镀膜机