产品展示
有机发光二极管 溅射
OLED真空烤箱系统
개요
- 真空烘箱系统，用于预蒸发过程，以去除杂质（例如残留的溶剂或水蒸气），这些杂质会缩短OLED面板的缺陷和使用寿命。
특징
- -组成：装载室，传输模块室，真空烤箱，冷却室
-加热器：板式加热器微调温度已激活。
사양
- -适用基板尺寸：370mm x 470mm〜2940mm x 3370mm -热量：最大250oC，均匀度≤±5％-冷却：10oC〜70oC-真空度：极限5E-7Torr（12小时内）-处理时间：120秒〜1000秒