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LST Series는 Thin Film Transistor 제조용으로 대면적 기판에 산화물 및 금속물질을 진공 상태에서 증착하는 장비
LSF Series는 Color Filter 제조용으로 대면적 기판에 산화물 및 금속물질을 진공 상태에서 증착하는 장비
SuVas-HD Series는 중간 크기 기판에 산화물 또는 금속 재료를 스퍼터링하여 Solar 또는 Architecture 패널 생산의 전극층 공정에 ..
SuVas-CV 시리즈는 중간 크기 기판에 산화물 또는 금속 물질을 스퍼터링하여 LCD 또는 OLED 패널 생산의 전극층 공정에 사용됩니다.
유연한 필름에 증착하기 위해 Roll to Roll 스퍼터가 널리 사용됩니다. 롤 투롤 스퍼터의 적용은 가변적이다.
